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中微公司:目前没有光刻机的研发计划或并购计划_科技

发布日期:2020-05-20 11:09   来源:未知   阅读:

集微网消息(文/Jimmy),中微公司在互动平台表示,公司目前没有光刻机的研发计划或并购计划。公司关注集成电路其他设备领域,并将积极拓展业务,寻求新的发展机会。

中微公司是我国集成电路设备行业的领先企业,目前开发的产品以集成电路前道生产的等离子体刻蚀设备、薄膜沉积设备等关键设备为主,并已逐步开发应用于后道先进封装、MEMS、MiniLED、MicroLED等领域的泛半导体设备产品。

中微公司的等离子体刻蚀设备已在台积电、中芯国际、海力士、长江存储、格罗方德、博世、意法半导体等国际一线客户从65纳米到14纳米、7纳米和5纳米的集成电路加工制造及先进封装中有具体应用。中微公司的MOCVD设备在三安光电、璨扬光电、华灿光电、干照光电等行业领先客户的生产线上大规模投入量产,公司已成为世界排名前列、国内占领先地位的氮化镓基LED设备制造商,预计中微公司来自本土半导体存储厂的蚀刻设备订单有望在2020年至2021年爆发。(校对/ Jurnan )

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